WAFER TEST

ウエハテスト事業

ウエハテスト / レーザートリミング保有設備＜テスト環境＞

※ここに記載されるテスト環境は2025年1月時点の内容です。本内容は参考情報としてご利用ください。
最新のテスト環境や仕様等につきましては、当社までお問合わせください。

Mixed SoCテスタの主なテスト環境

メーカー	機種名	主な仕様
ADVANTEST	T6575	I/O＝512pin 125MHz , PPS=32ch　SQPG Option：SCPG 4Gbit, ALPG, AD/DA, IDDQ, 40VPPS等 HiFIX：512POGO , 512AV2
	T6577	I/O＝1024pin 125MHz , PPS=32ch　SQPG Option：SCPG 16Gbit, ALPG, VAFG/VAFD , 40VPPS等 HiFIX：1024Square AP , 512POGO
	T2000-LSMF (non-EPP)	52-slot TH PB:RECT550 800MDM 1024ch, PMU32, DPS500MA, LCDPS 26-slot TH RECT550 250MDM 1024ch, PMU32, DPS500MA
	T7721	125MHz　I/O＝256pin　PHDC＝256pin MDC HDC SQPG MTX 有
	V93000 A-TH	9-slot TH PS1600B=64MB/200Mbps/128ch/TMU:2pins WSMX=HS:4units , HR:4units DPS128=HV:64ch/HC:64ch
	EVA100 P-Model	mini-SB x1（DM64 x2、AVI x1、SYNC x1）＜Module Spec＞ DM64：100MHz_digital_I/O=64ch, PPMU=64ch, DPS=4ch, TMU/AWG/DGT/VREF AVI ：VI_Source=6ch(±64V or -32V～+96V) SYNC：I2C、SPI、DC:+5V, +12V, ±15V、CW=64ch

アナログテスタの主なテスト環境

メーカー	機種名	主な仕様
ShibaSoku	WL22	Perpin＝64ch TM＝2ch, HV V/I 有 CBIT＝72bit～288bit AS/AVM 有
	WL25	Perpin＝64ch μFunc＝16pin～32pin TIME＝4ch CBIT＝72bit～144bit, HV V/I 有
	WL25V	VPerpin＝64ch～128ch Digital Module＝16pin～32pin CBIT＝144bit～288bit TM＝8ch, HV V/I HV800V 有
SPANDNIX	SX3010	ONVI_R3M＝全64pin 30V/300mA QTMR＝A/B×4ch Cbit＝256ch DHVI 有

プローバー

メーカー	機種名	主な仕様
東京エレクトロン	P-8系	P8, P8XL [100mm, 125mm, 200mm] 温度帯室温, 高温チャック, 高温AC付高低温 -40℃～150℃
東京エレクトロン	P-12系	P12/XL [200mm, 300mm] エアークール仕様
東京精密	UF200・2000系	UF200/A/SA/S/R, UF2000 [125mm～200mm] 高温チャック, 高温AC付高低温 -40℃～150℃
東京精密	UF3000系	UF3000/EX/EXe, AP3000 [200mm, 300mm] 高温チャック, 高温AC付高低温 -40℃～150℃ 高低温 -55℃～200℃

レーザートリミング

メーカー	機種名	主な仕様
ESI	esi9275	波長＝1047nm　Wfサイズ 100mm～200ｍｍ
	esi9350	波長＝1342nm　Wfサイズ 100mm～200ｍｍ
	esi9820	波長＝1342nm　Wfサイズ 150mm～200ｍｍ

バックグラインダー/レーザーグルービング

メーカー	機種名	主な仕様
DISCO	DFG8560	Wfサイズ 150mm, 200mm, 300mm　仕上げ砥石：#2000/6000/8000
DISCO	DFL7161	Wfサイズ 150mm, 200mm, 300mm　水溶性保護膜標準装備

その他付帯設備

メーカー	機種名	主な仕様
Camtek	Falcon530	自動外観検査装置 200mm, 300ｍｍ対応
Espec	PVHC-231M	クリーンオーブン
Tiatech	HOTEI	PAT判定システム SPAT, DPAT, SBL, SYL判定
Harmotec	HWC-0812-01	超音波エアーによる異物除去・吸引回収

広範囲をカバーする
最適なウエハテスト環境

ウエハテスト工程では、お客様からお預かりしたウエハの電気的試験を行います。
最新のテスタ、プローバ設備により、100ｍｍから300ｍｍのウエハをロジック、アナログまたはミックスドシグナル領域の試験が可能です。
長年の実績と経験に基づいた試験環境と品質管理体制で安心のサービスを提供いたします。